光刻工艺

EVG 40NT是一款主要用于CD尺寸测量和键合对准测量的设备，具有级高的精度，可作为EVG GEMINI FB中100nm键合精度的验证工具
EVG 610（NIL）是一款基于EVG610光刻机的紫外纳米压印设备，可针对压印、光刻、对准功能进行快速转换
单面/双面光刻系统