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  导电探针是可用于分析薄片中矿物微区化学组成的分析仪器。这个仪器将高度集中的电子束集中在矿物上，刺激构成矿物元素的特征X射线。用分光仪或检波器测量荧光的波长，并将其强度与标准样品进行比较，或根据其他强度补偿直接计算组含量。电子探针X射线显微镜分析仪，又称微区光谱分析仪。可以对样品进行小面积成分分析。除了h、He、Li、Be等几个轻元素外，除了U元素之外，还可以进行定性和定量分析。电子探针的大量放置以加速、聚焦的非常窄的电子束作为探针，刺激样品的小面积，从而释放出射线，测量的波长和强度。可以对这个微区域进行定性或定量分析。将扫描电子显微镜和电子探针结合起来，将显微镜观察到的显微组织和元素成分联系起来，解决了材料的显微不均匀性问题，成为研究亚微观结构的有力工具。

  导电探针的工作原理是什么？

  导电探针有三种基本工作方法：点分析用于选定点的全光谱定性分析或定量分析，以及对所含因素的定量分析。线分析用于显示图元沿选定线方向的强度变化。面分析用于观察选定精细区域内元素的浓度分布。

  根据莫塞莱定律，各种的特征各有一定的波长，通过探测这些不同波长来确定样品中包含的元素是电子探针定性分析的依据。将测量的样品与标准样品中Y的衍射强度进行比较，可以进行电子探针的定量分析。当然，电子束激发的用于元素分析，前提是入射电子束的能量大于原子的内部电子临界电离激发能量。

  导电探针的结构特征是什么？

  电子探针微分析器(又称电子探针)使用约1Pm的微焦点电子束，在样品表面微区刺激元素的特性X射线，并根据特性X射线的波长和强度对微区化学成分进行定性或定量分析。电子探针的光学系统、真空系统等与扫描电镜基本相同，一般配备二次电子和后向散射电子信号探测器，具有组织形式和微区域成分分析两种功能。电子探针的构成除了类似扫描电镜结构的主机系统外，主要还包括分光系统、检查系统等。

     导电探针主要由电子光学系统(镜子)、光谱和信息记录显示系统组成。电子探针和扫描电镜在电子光学系统中的结构基本相同，经常组合成单个仪器。